SULFUR HEXAFLURIDE ( SF6) SPECIFICATION FROM ST GAS 

Standard 

High Standard

High Purity

Purity: 

> 99.95% 

> 99.99% 

> 99.999%

Impurity: 

Ar

<0.028% (m/m)

<0.003% (m/m)

<0.002% (m/m)

CF4

<0.038% (m/m)

<0.003% (m/m)

<0.002% (m/m)

H2O

<3.0    (ug/g)

<1.0    (ug/g)

<0.6     (ug/g)

Acidity

<1.0    (ug/g)

<0.1    (ug/g)

<0.1    (ug/g)

Hydrolysis fluoride

<0.4    (ug/g)

<0.2    (ug/g)

<0.2    (ug/g)

Oil

<4.0    (ug/g)

<0.5    (ug/g)

<0.5    (ug/g)